Датчик FTR тонких покрытий
Для п/п и высокотехнологичных изделий
Особенности:
- измерение методом отражения со спектральным разрешением
- многослойное измерение отдельных слоев с разрешением 1 нм
- обширная база данных с параметрами полупроводников, оксидов и т.д.
- компиляция наборов команд для каждой задачи измерения
- отображение толщины в комбинации с MicroProf® и MicroGlider®
Каталог приборов для трехмерного контроля поверхности FRT (Германия)
Технические характеристики:
Принцип измерения |
измерение коэффициента отражения |
||||
Источник излучения |
галогенная лампа |
дейтериевая галогенная лампа |
|||
Модель |
VIS |
NIR |
VIS/NIR |
UV/VIS |
UV/VIS/NIR |
Диапазон длины волны |
400-850 нм |
650-1100 нм |
400-1100 нм |
250-850 нм |
250-1100 нм |
Диапазон измерения толщины |
50 нм - 20 мкм |
70 нм - 70 мкм |
50 нм - 100 мкм* |
10 нм - 20 мкм |
10 нм - 70 мкм |
Разрешение толщины слоя |
1 нм |
||||
Разрешение по осям X, Y |
200-800 мкм без оптики (лучше чем 10 мкм с дополнительной оптикой) |
* по заказу 1-250 мкм.