Озонаторы воды серии OZW
Благодаря применению генератора озона высокой концентрации серии OZC, Teflon® мембраны из полых волокон, а также специального насоса, озонаторы воды EBARA способны непрерывно производить озонированную воду в большом объеме, тем самым отвечая требованиям процессов полупроводниковой промышленности следующего поколения.
Основные преимущества:
- Высокая концентрация, большой объем озонированной воды
- Система способна обеспечить концентрацию озонированной воды 3-30 мг/л при потоке 3-50 л/мин (задается оператором в зависимости от требований применения)
- Озонированная вода без загрязнений. Использование озонатора серии OZC с мембраной Teflon® из полых волокон и специального насоса помогает устранять общее содержание органического углерода, а также загрязнения тяжелыми металлами
- Исключительно высокая концентрация и стабильность потока.
Применение индикатора озона, основанного на принципе поглощения ультрафиолетовых лучей, и специально разработанного насоса Ebara с регулируемой скоростью позволяет получать озон точно контролируемой концентрации и постоянный поток озонированной воды
- Исключительная простота и безопасность использования - идеально для применения на производстве
- Имеет сенсорную панель управления
- Внешняя система управления позволяет осуществлять как локальное, так и удаленное управление
- Отвечает требованиям S2-93, также доступна модель в соответствие с CE
- Принцип действия OZW:
Ультрачистая вода прокачивается специальным насосом Ebara через мембрану из полых волокон при этом озонированный газ, вырабатываемый интегрированным озонатором серии OZC, также проходит через мембрану, тем самым производя воду с высоким содержанием озона и стабильной концентрацией.
Применения:
- Полупроводниковая промышленность
- Однородные оксидные пленки
- Снятие фоторезиста
- Влажная очистка
Технические характеристики
Модели |
Поток , л/мин |
Концентрация, PPM |
OZW05M1-H2 |
3 - 10 |
3 -30 |
OZW20M1-H3 |
10 -25 |
3 -25 |
OZW30H2 |
20 - 35 |
3 -10 |
OZW40H2 |
25 - 50 |
3 -10 |