-
Промышленное вакуумное оборудование
- Вакуумные насосы и откачные системы
- Откачные системы для промышленности и медицины
- Системы управления вакуумными установками
- Системы вакуумного прессования
- Мембранно-вакуумные прессы
- Стрелочные вакуумметры и реле вакуума
- Уравнительные вакуумные баллоны (вакуумные ресиверы)
- Вакуумные шланги
- Аксессуары для вакуумных насосов
-
Вакуумная техника для исследований и высокотехнологичных производств
- Вакуумные насосы и откачные системы
- Вакуумметры и датчики вакуума
- Течеискатели
- Фитинги, клапаны, вводы и другие комплектующие для высоковакуумных систем
- Установки имитации космоса
- Напылительные установки
- Вакуумные установки по техническим заданиям заказчиков
- Установки плазменной очистки, травления, активации и снятия фоторезиста
- Вакуумные камеры
- Квадрупольные масс-спектрометры
- Компоненты для вакуумных напылительных установок
- Вакуумные системы для химических и биологических лабораторий
-
Полупроводниковое оборудование
- Установки осаждения тонких пленок
- Установки очистки пластин и снятия резиста
- Скрубберы и установки нейтрализации газообразных отходов
- Испытательные центрифуги
- Компоненты для вакуумных напылительных установок
- Оборудование для производства солнечных батарей
- Озонаторы
- Регуляторы расхода газов
- Солнечные батареи
- Течеискатели и приборы для проверки на герметичность микросхем и установок
- Установки для испытаний микросхем на разряд статического электричества
- Установки для нанесения и сушки/задубливания фоторезиста
- Установки термического отжига
- Инспекционные установки и микроскопы
- Оборудование для полировки/шлифовки пластин
- Установки молекулярно-лучевой эпитаксии
- Установки контактной и бесконтактной литографии
- Термическое оборудование
- Криогенное оборудование
-
Аналитическое и испытательное оборудование
- Приборы детектирования и идентификации химических веществ (GC-MS)
- Приборы химического мониторинга (GC)
- Приборы обнаружения химических веществ (GC/PID/FID)
- Квадрупольные масс-спектрометры
- Установки имитации космоса
- Системы высокотемпературных прочностных испытаний
- Камеры для динамических вибрационных испытаний
- Электронная и ионная оптика
- Течеискатели
- Испытательные центрифуги для микроэлектронных приборов
- Климатические камеры
- Камеры для испытаний температурным ударом
- Инспекционные установки и микроскопы
- Компоненты для вакуумных напылительных установок
- Регуляторы и измерители расхода газов
- Рефлектометр для астрономической оптики CT7
- Системы активной виброизоляции
- Лабораторные вакуумные системы
-
Общепромышленное оборудование
- Центробежные жидкостные насосы
- Металлообрабатывающие станки
- Оборудование для медицинского газоснабжения
- Солнечные батареи
- Иструменты для сервиса холодильной техники
- Установка для термовакуумной обработки баллонов ТВОБ-2/40
- Системы вакуумной инфузии
- Пластинчато-роторные вакуумные насосы
- Турбомолекулярные насосы и откачные посты
- Вакуумные крионасосы
- Сухие форвакуумные насосы
- Вакуумные водокольцевые насосы
- Когтевые вакуумные насосы и компрессоры
- Паромасляные диффузионные насосы
- Плунжерные (золотниковые) вакуумные насосы
- Промышленные винтовые насосы
- Спиральные вакуумные насосы
- Мембранные вакуумные насосы
- Ионно-геттерные (магниторазрядные) насосы
- Мембранно-поршневые насосы
- Вихревые вакуумные насосы
- Двухроторные (типа Рут)
MicroProf300 MFE
The measuring systems series MFE is particularly suited to manufacturers of structured wafers, masks, MEMS and similar products. Because of the very high cleanliness, process and yield requirements, all tools are especially designed for use in cleanrooms. MFE systems measure critical dimensions and overlays on the one hand and 3D topography or film thickness on the other. All tools are metrological and comply with the necessary industry standards such as the SECS II / GEM software interface. Furthermore, the system is fully automated and equipped with wafer cassettes and part carriers.
Каталог приборов для трехмерного контроля поверхности FRT (Германия)