Вакуумные насосы серии EV-М
Компания EBARA представляет новую конструкцию вакуумного насоса для процессов откачки агрессивных сред (NF3, HF, Cl2, SiH2Cl2 и др.). Насосы имеют меньшие размеры, и потребляют на 50% меньше энергии, чем насосы серии EST. Насосы серии EV-M имеют более высокую скорость откачки H2, по сравнению со шнековыми вакуумными насосами.
Преимущества вакуумных насосов EV-M:
- Меньший вес и размеры, по сравнению с более ранними моделями
- Более высокая скорость откачки H2, по сравнению с вакуумными насосами шнекового типа
- Увеличенная надежность, благодаря электродвигателям с большим крутящим моментом
- Интеллектуальная система управления
- Низкий уровень шума и вибраций
- Регулируемая скорость откачки, благодаря возможности изменения количества об/мин
- Низкое потребление электричества, охлаждающей воды и азота
- Режим ожидания обеспечивает дополнительную экономию энергии
Технические характеристики
Характеристики/Модель |
EV-M20N |
EV-M102N |
EV-M202N |
EV-M302N |
EV-M502N |
EV-M802N |
Быстрота действия, м3/час |
108 |
600 |
1200 |
1620 |
3000 |
4800 |
Предельное остаточное давление, мбар |
5х10-2 |
5х10-2 |
5х10-2 |
5х10-2 |
5х10-2 |
5х10-2 |
Расход охлаждающей воды, л/мин |
3-8 |
3.5-8 |
4-8 |
5-8 |
||
Расход азота на продувку, л/мин |
15-18 |
16-20 |
||||
Соединительный фланец |
40 KF |
100 ISO-K |
100 ISO-K |
100 ISO-K |
160 ISO-K |
160 ISO-K |
Максимальная потребляемая мощность, кВт |
2.2 |
3.8 |
4.4 |
4.7 |
5.7 |
5.4 |
Вес, кг |
170 |
320 |
360 |
400 |
500 |
740 |
Габаритные размеры, ДхШхВ, мм |
820x370x620 |
810x380x922 |
870x380x922 |
961x380x1000 |
1015x485x1040 |
1140x630x1105 |
Питание, В |
200 - 220 / 380 - 440, 3 ф., 50/60 Гц |
Каталог сухих форвакуумных насосов и систем нейтрализации опасных газов Ebara (Япония)