Сухой гелиевый течеискатель Inficon UL1000 Fab
Сухой гелиевый течеискатель Inficon UL1000 Fab с полностью безмасляной системой откачки — это автоматический прибор, обеспечивающий быструю откачку и минимальное время отклика для удовлетворения высоких требований приложений в области полупроводниковой, атомной и аэрокосмической промышленностей, а также во всех применениях, где требуется течеискание с идеально чистой безмасляной откачкой.
Достоинства и преимущества:
- Внесен в Государственный реестр СИ РФ
- Широкий диапазон измерения (более 15 декад)
- Быстрая откачка и короткое время отклика
- Полностью металлический корпус на колесикаx для мобильности и удобства эксплуатации
- I-CAL (программный алгоритм расчета скорости утечки), чтобы обеспечить минимальное время отклика при обнаружении течи во всем диапазоне измерений
- Функция нуля с автоматической регулировкой времени интегрирования для быстрого получения достоверных результатов испытания
- Продуманная конструкция вакуумной системы с надежным спиральным насосом и турбомолекулярным насосом с несколькими входными каналами, который обеспечивает быструю откачку гелия с высокой степенью сжатия
- Спиральный насос, используемый в течеискателях UL1000Fab и UL5000 разработан специально для компании Inficon и поставляется только в составе течеискателей Inficon, он обладает рекордной степенью сжания гелия среди аналогичных форвакуумных насосов. В том числе поэтому точность, быстрота реагирования и значение предельной обнаруживаемой течи у сухих течеискателей Inficon лучше, чем практически у любого конкурента.
- Вращаемый дисплей с пользовательским интерфейсом обеспечивает простое и удобное управление и взаимодействие с гелиевым течеискателем
- Легкое и безопасное перемещение по помещению силами одного человека, продуманная конструкция: за счет пары колесиков большого диаметра гелиевый течеискатель легко перемещать через пороги
- Функции самозащиты для предотвращения загрязнения течеискателя UL1000 Fab гелием и мелкодисперсными частицами
- Цикл автоматической продувки для очистки и подготовки течеискателя к проведению испытания
- Надежная масс-спектрометрическая система с ионным источником с двойным катодом (3 года гарантии) обеспечивает длительное время безотказной работы и низкие эксплуатационные расходы
- Встроенная контрольная течь для внутренней калибровки, чтобы обеспечить достоверные результаты испытаний
- Встроенная функция программного меню «Auto Leak Test» (Автоматическое течеискание) для проведения испытания герметичных электронных компонентов. При использовании дополнительной испытательной камеры TC1000, это испытание выполняется автоматически. Течеискатели Indicon с камерой TC1000 - идеальное решение для производителей интегральных микросхем в герметичных корпусах для проверки своих изделий на герметичность!
Свидетельство об утверждении типа средств измерений DE.C.31.001.A №47169 Выдано Федеральным агентством по техническому регулированию и метрологии РФ (РОССТАНДАРТом) |
В случае внезапного отключения электропитания течеискатель UL1000 Fab продолжает работать автономно, используя для генерации электроэнергии турбомолекулярный насос, ротор которого вращается по инерции в вакууме. В этом режиме питание получает система управления и клапанный блок, позволяя даже полностью обесточенному прибору автоматически провести все необходимые процедуры для штатного отключения. Это одна из встроенных функций, благодаря которой достигается беспрецедентный уровень надежности и отказоустойчивости гелиевых течеискателей Inficon.
Типичные применения:
- проверка на герметичность ТВЭЛ-ов
- проверка на герметичность технологических и исследовательских установок в атомной промышленности
- проверка на герметичность узлов и агрегатов в космической промышленности
- электронных компонентов
- вакуумных камер и установок
- сборочных узлов используемых в полупроводниковых устройствах, плоских дисплеях
Видео пример, демонстрирующий быстроту и легкость работы с гелиевым течеискателем Inficon UL 1000 Fab и камерой TC 1000 при проверке на герметичность электронных компонентов методом обратного тока:
Гелиевый течеискатель Inficon UL1000 Fab
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ |
UL1000 Fab |
Мин. обнаруживаемая течь для гелия (в режиме Vacuum)*): |
меньше 5 х 10-12 мбар л/с |
Мин. обнаруживаемая течь для гелия (в режиме Sniffer)*): |
меньше 5 х 10-8 мбар л/с |
Макс. обнаруживаемая течь для гелия, которую можно отобразить |
0,1 мбар л/с |
Макс. давление на входе |
|
Быстрота действия форвакуумного насоса (скорость откачки при создании вакуума) |
25 м3/ч при 50 Гц |
Скорость откачки гелия |
|
Постоянная времени сигнала интенсивности течи (заглушен, 63% от окончательного значения) |
меньше 1 с |
Время откачки до состояния готовности к течеисканию |
|
Время готовности к течеисканию в сверхчувствительном режиме(течи до 5 x 10-9 мбар*л/сек) |
|
Время отклика (для скорости утечки 10-9 мбар л/с) |
|
Время установления состояния готовности к работе |
меньше 3 мин |
Регистрируемые массы |
2, 3, 4 а.е.м. (H2, 3He, He) |
Масс-спектрометр |
секторное (180°) магнитное поле |
Источник ионов |
двойной иридиевый катод, покрытый оксидом иттрия |
Скорость утечки калиброванной течи TL7 (встроенная) в диапазоне |
10-7 мбар л/с |
Единицы измерения (по выбору) |
мбар л/с, Па м3/с, торр л/с, атм см3/с, g/a (только в режиме Sniffer), промилле |
Присоединительный фланец |
25 KF |
Настраиваемые уровни срабатывания |
2 |
Интерфейс |
RS 232 |
Входы/Выходы |
ПЛК-совместимые для управляющих данных и информации о состоянии |
Выход для самописца |
2 х 10 В |
Напряжения питания |
230 В (±10%) 50 Гц |
Потребляемая мощность |
1100 ВА |
Габаритные размеры (Д х Ш х В) |
1068 мм х 525 мм х 850 мм (42" x 21" x 33") |
Масса |
110 кг |
Степень защиты |
IP 40 |
Допустимая температура окружающего воздуха (во время работы) |
+10 °C.... +40 °C |
*) согласно AVS и EN 1518 |
|
|
|
UL1000 Fab, 230 В, 50 Гц, сетевая вилка евростандарта |
550-100 |
Испытательная камера TC1000 с браслетом для снятия электростатического заряда |
551-005 |
Комплект для дистанционного управления |
|
Принадлежности: |
|
Инструкция: Гелиевые течеискатели UL1000 Fab и UL1000
Каталог приборов для течеискания INFICON (Германия)